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UNIXX S 20 D 顯影機是應用于顯影工藝的設備,適用的基板尺寸最大到8英寸的圓片 和最大到6英寸x6英寸的方片。新設計的三片式可拆卸工藝腔體可實現良好的工藝均勻 性和重復性,設備也可用于清洗和旋干工藝。 UNIXX S 20 D的落地式柜體經專門設計,方便操作和維修。它是一款手動顯影機,適 用于實驗室開展科學研究和技術開發。設備具有多選項(例如可編程流體輸送臂)并且 可以升級成自動化的系統